超纯水设备的维护对于确保其长期稳定运行至关重要。以下是维护超纯水设备的一些关键步骤和注意事项：
1、预处理系统维护
（1）石英砂过滤器与活性炭过滤器
维护频率：根据原水质量，建议每15至30天进行一次正反冲洗，以清除滤料表面的杂质和沉积物。
操作要点：采用水流反向冲洗，彻底清除砂层或活性炭层的污物，保持过滤效果。
（2）软化器
维护行动：定期添加氯化钠进行树脂再生，周期依据实际使用情况而定，一般每月至少一次。
2、日常维护
（1）调整设备参数：根据检测结果对超纯水设备的参数进行调整，例如根据水质情况调整离子交换柱子的再生周期、反渗透膜的通量和压力等，确保设备能够稳定地生产符合要求的超纯水。
（2）保养和维护：
定期更换滤芯、柱子等消耗品。
维护泵头、阀门、检查传感器等。
（3）记录和监测：建立完整的记录系统，记录每次检测结果、调整参数、设备维护等情况。
3、特殊情况下的维护
长时间不使用时：排空设备储水桶中的剩余水量，并关闭电源及水源与其他用水设备断开连接。
如果设备闲置时间较长，应在一周左右周期性地自动清洗，以及时去除膜表面的污垢和离子交换树脂表面的污染物。若闲置半年以上，应将零件拆下，并用防护液密封起来。
4、其他注意事项
（1）定期清洗与消毒：超纯水设备的管路和储水箱容易受到污染，因此需要定期进行清洗和消毒。
（2）检查滤芯状况：滤芯是超纯水设备中的核心部件，需要定期检查并更换。
（3）检查设备性能：定期检查超纯水设备的性能有助于发现潜在的问题并及时解决。
（4）预防漏水：定期检查设备的管路连接处是否紧固。
（5）注意供电安全：确保供电线路的安全可靠。
5、耗材更换周期
（1）前置过滤器：一般是8到12个月。
（2）反渗透系统：一般是24个月。
（3）去离子交换系统的耗材：根据客户的原水水质与实际每天超纯水用水量决定。
6、再次使用前的准备
（1）检查水路和电路：如果设备长时间未使用，再次使用前需要检查水路和电路是否正常。
（2）放水检查：用水前需要放超纯水15分钟左右，如果水质异常，则需要尽快更换耗材后再使用。